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日本CANON ANELVA真空计M-342DG-11/M-342DG-12/M-342DG-13

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南京易鸣销售日本CANON真空计、离子规 原装正品 品质保证! 
产品品牌：日本CANON
产品名称：真空计、离子规
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具体规格型号如下所示：
M-342DG-1D
M-342DG-1N
M-342DG-11
M-342DG-12
M-342DG-13

特点：
真空中の圧力の高精度179179長期間安定測定に幅広く対応
半導体、ディスプレイ、太陽電池など各種真空装置
179179スパッタリング、PECVDなどの真空成膜プロセス圧力の制御、モニタリング
179179ロードロック室、ウエハ冷却などのガス導入プロセス、システムの圧力管理
医療、バイオ、食品他各種産業、並びに各種研究開発用途
各種コーティング、プラズマ処理、真空封止、真空炉、分析装置、滅菌、真空ポンプ評価、分子蒸留　など

规格尺寸：
型名 M-342DG
-1D -1N -11 -12 -13
フルスケール圧力（Pa） 13.33 133.3 1.333k 13.33k 133.3k
測定制度（％ of reading） 0.20(at 23℃)
ゼロ点温度係数（％ of F.S./℃） 0.01 0.005 0.002
スパン温度係数（％ of reading/℃） 0.01 0.005
分解能（％ of Full-scale） 0.01 0.005
測定下限圧力（％ of Full-scale） 0.01
実用測定下限圧力（％ of Full-scale） 0.05
実用制御下限圧力（％ of Full-scale） 0.5
応答速度（ms） 100 30
加圧上限 200kPa(但しNW16、NW25のものは内部が陽圧にならないこと)
*13.33Pa仕様は130kPa
電源電圧（VDC） +13.5～26.4
消費電力（W） 0.5
アナログ出力（VDC） 0～10
使用温度/保管温度（℃） 0～50/-20～70(非動作時)
最大ケーブル長（m） 100(専用ケーブル)
ゼロ点調整方法 プッシュスイッチ、リモート入力
入出力コネクタ D-sub9ピン(オス)
接ガス部材質 SUS304、SUS316、Si、ガラス、フッ素ゴム
フランジ18形状と質量 NW16(200ｇ)、NW25(210ｇ)、8-VCR メス(250ｇ)、φ70ICF(460ｇ)
適用規格等 CE、RoHS、IP40
安全保障貿易管理規制 非該当
対応表示器 M-601GC(1ch接続タイプ)、M-603GC(3ch接続タイプ)