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日本CANON ANELVA真空计M-351PG-SP
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南京易鸣销售日本CANON真空计、离子规 原装正品 品质保证!
产品品牌:日本CANON
产品名称:真空计、离子规
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具体规格型号如下所示:
M-351PG-SP
特長:
耐食性の向上
Niフィラメント採用等
再現性がよく低価格
5×10-2Paから大気圧
用途:
半導体、電子デバイス製造装置
ドライエッチング装置、プラズマCVD装置、LD-CVD装置など
食品99医薬品製造装置
真空凍結乾燥、真空蒸留装置、滅菌装置など
规格尺寸:
型 名 M-351PG-SP
(Niフィラメント仕様)(セットポイント付タイプ)
測定圧力範囲 5×10-2~1×105(Pa)
精度(Pa) ±50%:5×10-2 ~ 1×10-1
±15%:1×10-1 ~ 1×104
±50%:1×104 ~ 1×105
再現性 ±2% : 1×10-1 ~ 1×104Pa
入力電圧 DC+14~30V
消費電力 2W
アナログ出力 0~10V
ゲージ認識抵抗値 13KΩ(D-sub5-9番ピン間)
セットポイント 2接点出力(1A30V,DC)
インターフェース -
入出力コネクタ D‐sub9ピン
最大ケーブル長 200m(0.34mm2)対応可能*1
使用温度範囲 5~60℃
保存温度範囲 -20~70℃(非動作時)
ベーキング温度 <+150℃(Oリング仕様、ゲージヘッドのみ)
<+300℃(メタルシール仕様、ゲージヘッドのみ)
許容過負荷圧力 1MPa(継手形状NPTに限る、不活性ガスに限る、絶対圧)
適合ピラニセンサ型名 MP-2
フランジ形状 NW16、NW25、1/8NPT
センサー材質(主要部) ピラニフィラメント:ニッケル
センサーチューブ:ステンレス
導入端子絶縁部:コバールガラス+Al2O3コート
保護規格 IP40
RoHS, CEマーキング 対応
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